产品中心Product center

scarpa

oxford 牛津PED脉冲电子束沉积镀膜系统

产品编号:
市场价:¥0.00
会员价:¥0.00
品牌:Oxford牛津
生产厂家:oxford 牛津
需求数量:
提交询价

脉冲电子束沉积(PED)的特点

与CW技术相比,例如传统的电子束蒸发,脉冲系统的主要特点是可以在靶材表面上

产生最高达108W/cm2的高能量密度。因此,靶材的热动力学特性比如熔点和比热等

在蒸发过程中就变得不重要了。这一点对复杂的、多组分材料特别具有优势。与脉

冲激光沉积(PLD)相比,脉冲电子束沉积(PED)技术提供了独一无二的平台,在

一系列具有重要技术价值的基片上沉积复杂材料的薄膜,其独特的优点在于扩展了

材料的范围和应用。这种方法在大批量生产中可以大规模应用且成本低廉

技术指标

一、           PED-120系统的技术指标

l      PEBS-20脉冲电子源和电源

l      真空腔:直径12"

Ø      额定基压:<1x10-6 Torr

l      基片加热器,直径2",带控温器

Ø      氧气可达大气压力

Ø      最高温度:950 °C

Ø      温度均匀性:±5 °C

Ø      温度稳定性:±1 °C

Ø      基片加热器档板

l      靶盒,手动控制

Ø      可放置6个1"的靶或3个2"的靶

Ø      靶与法兰的距离:4"

l       气路

Ø      质量流量计控制进入真空腔的流量,量程100sccm

Ø      控制采用单通道设置/数值显示

l      真空泵系统

Ø      260 l/s 带冷阱的涡轮分子泵,高真空泵

Ø      4 m3/hr无油机械泵

Ø      8"闸板阀,手动控制

Ø      排气/出气阀,用于氧气的安全操作

l      真空计,显示读数

Ø      冷阴极型

Ø      对流型

l      系统框架

Ø      占地面积:22”W x 34”D

Ø      空间:    30”W x 34”D

Ø      总高度:  54"-58"

Ø      标准19"电子元件安装架

Ø      脚轮和水平调节器

l        电源

Ø      110-240 VAC/50 Hz, 20 A,单相

二、PEBS-20脉冲电子源系统的技术指标

组成:

l        PEBS-20脉冲电子源

l        电源

l        电子控制系统

l        预装软件的控制计算机

技术指标:

电压:115-230 VAC, 50/60 Hz, 单相

氧气压力:5-20 mTorr

电子能量:8-20 kV

单次脉冲能量:0.1 – 0.8 J

脉冲能量偏差(Max):±10%

能量转换效率:25-30%

脉冲持续时间:~100 ns

脉冲重复速率(Max):15 Hz

电子束斑面积(Min):6 x 10-2 cm2

电子束斑面积偏差(Max):±20%

脉冲能量密度(Max):1.3 x 108 W/ cm2

Z轴移动距离:50 mm

XY轴移动距离:±20 mm

工作寿命:107 次脉冲

PEBS源的工作温度(Max):85 °C

请填写以下表格,我们会尽快与您联系!或者直接致电400 628 5117,谢谢!

* 您的姓名: *
部门及职位:
* 电话: *
传真:
传真:
单位: *  
地址:
邮箱: *    
 
关闭