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此工具最大特点包括：
通过定位边或凹槽对晶片进行自动定位及排列 使用Teflon涂层的真空臂仅从背面吸附晶圆 高通量
卓越的稳定性、高重复性的测量结果
强大的FT-IR软件工具包、自定义方法创建 能测量300nm到7500nm的外延层厚度
透射和反射测试模式适用于最广范围的材料和膜
灵活多样的测试模式选择(从单点测量到可选的完整的晶片成像
简单易用，按键式操作，触摸屏界面，也可选配键盘/鼠标操作
支持ASTM和JEIDA标准
可选SECS/GEM通讯软件
2级洁净技术准备
ECO 1000秉承了我们长时间运行系列ECO工具而证实的低成本及高稳定性。基于我们在FT-IR技术上的专业知识，ECO 1000的性能与同类产品相比，处于顶级水平。Thermo承诺供应最专业、最可行的FT-IR度量工具，ECO 1000是此承诺的又一验证。
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