ESCALAB 250Xi XPS光电子能谱仪
Thermo Scientific* ESCALAB 250Xi X射线光电子能谱结合了高灵敏度与高分辨率定量成像以及多种测试技术能力。XPS是众多材料特性表征技术中行之有效的测试手段，目前已成为从生物材料到半导体材料等许多技术领域先进材料开发的重要工具。ESCALAB250Xi满足了分析性能和灵活性不断增长的需求。此外，ESCALAB250Xi提供的可选表面分析技术可用于补充应用XPS所获取的表征信息。
先进的Avantage数据采集和处理系统确保了从测试数据中挖掘尽可能多的信息。
ESCALAB250Xi配备了微聚焦X射线单色器，提供优化的XPS性能，其市场领先的灵敏度确保了最大样本量。XPS并行成像是选择最好横向分辨率的方法，ESCALAB250Xi提供的成像空间分辨率优于3µm。新开发的成像检测器提供了“免签名“的量化数据。多技术能力和系列预备室及各种设备的可用性，确保该仪器将提供任何表面分析问题的解决方案。
主要特点
高灵敏度能量分析器
标配X射线单色器
小面积XPS
成像空间分辨率优于3µm
定量成像
深度剖析能力
微聚焦单色器
标准配置包含离子散射能谱（ISS）
标准配置包含反射电子能量损失谱（REELS）
标准配置包含预备室
多技术分析功能
多种样品制备选项
全自动无人照看分析
多样品分析
基于Windows 的Avantage数据系统
X射线单色器
双晶体微聚焦单色器拥有500 mm直径罗兰圆，使用铝阳极
用户可选择200微米至900微米任何大小X射线光斑照射样品
透镜/分析器/检测器
透镜/分析器/检测器一体化使ESCALAB 250Xi具备同时拥有成像和小面积XPS测试能力的独特性
两种类型的检测器可以确保分析者为每种分析选用最佳的分析器——二维检测器用于成像，当检测到高计数率时能谱分析使用基于通道电子倍增器的检测器
配备两组电脑控制虹膜机制透镜——一组用于用户控制分析区域，小面积测试模式下可下降到小于20微米，另一组透镜用于控制接收角，对于高质量角分辨XPS至关重要
180°半球能量分析器
深度剖析
数字化控制的EX06离子枪可用于提供优异的深度剖析测试
即便使用低能离子，EX06离子枪同样是一款高性能的离子源
可用于深度剖析中样品原点多方位旋转刻蚀
多技术能力
设计用于其它分析技术，不局限于XPS测试
透镜组和能量分析器供电是可逆的——使用EX06离子枪，ISS（离子散射能谱）始终可用
电子枪加压可升至1000V，为REELS提供优异的离子源
技术选项
带非单色化X射线光源XPS
AES（俄歇电子能谱）
UPS（紫外电子能谱）
真空系统
分析室使用5毫米厚钼合金材料制造，最大限度地提高磁屏蔽效率
与使用内部或外部屏蔽的屏蔽法相比，提供的屏蔽效能更佳
样品制备
系统基本配置包含一体化的进样室和进样门锁机构
额外的制备室可做为选配件
Avantage数据系统
赛默飞世尔科技的表面分析仪器和部件由Avantage数据系统控制
这个业界领先的软件集成了测试分析的所有方面，包括仪器控制、数据采集、数据处理和报告生成
Avantage是基于Windows的软件包，可以通过网络远程控制，轻易实现与第三方软件如微软Word软件兼容
Avantage负责从样品分析到报告生成整个测试分析过程