Hitachi日立 SU6600配有VP功能的新型热场扫描电镜
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SU6600配有VP功能的新型热场扫描电镜
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| 产品介绍： |
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SU6600配有VP功能的新型热场扫描电镜
日立公司为分析应用推出的新型热场扫描电镜，可以提供200nA的探针电流，并且配置了VP功能，可以满足不导电样品的无蒸镀观测。
特点:
1. 最大200nA的探针电流，可满足EDX、WDX、EBSP、CL等应用
2. 配有VP功能，可自动实现压差光阑的安装和取出
3. 配有二次电子探头和背散射探头，可选配ESED
4. 大型分析型样品室，可方便的安装多种分析附件
5. 可装载150mm直径、40mm高样品
6. 电脑控制的5轴优中心马达样品台
| 二次电子分辨率 |
1.2nm@30KV
3.0nm@1KV
4.5nm@30KV,150Pa
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| 背散射电子分辨率 |
3.5nm@30KV |
| 放大倍率 |
10~600,000（输出尺寸127x96mm） |
| 电子枪类型 |
热场发射 |
| 探针电率 |
1pA~200nA |
| 加速电压 |
0.5~30KV |
| 物镜光阑 |
自清洁、4孔可动式 |
| 束闸 |
电磁式 |
| 样品台 |
电脑控制的5轴优中心马达样品台 |
| X |
0~110mm |
| Y |
0~110mm |
| Z |
4~40mm |
| T |
-5°~+70° |
| R |
360° |
| 最大样品尺寸 |
直径150mm x 高40mm |
| 探头 |
二次电子探头
背散射电子探头 |
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