ICP、ICP-MS几乎可以有效的分析所有元素，因此被广泛的使用于半导体产业、核工业领域、以及环境样品的元素分析。尤其是ICP-MS，由于可以进行极微量的金属分析，所以使用的超纯水中的金属元素必须控制在极低的水平。

超纯水系统的纯化方法中，用来去除离子的是离子交换树脂，因此维持树脂的交换能力是很重要的。离子交换树脂除了会因为官能团饱和造成去除能力降低以外，树脂表面也会发生有机物与微生物的附着，所以在离子交换树脂的前期处理程序中，最好使用紫外灯来氧化分解有机物质，以防止树脂被污染。此外，为了尽早发觉树脂的劣化，可以在前段的离子交换树脂后装上电阻率检测仪，以检测水质的变化。这种超纯水系统的组合，对水中所含元素的检测灵敏仪度可达ppt级。

在影响ICP-MS分析的诸多因素中，最主要的是容器的清洁度以及溶出这两个因素。当我们进行痕量无机离子分析时，必须使用高纯度且金属离子溶出极低的容器。关于其他的技术问题，如喷雾器产生气泡想象，以及K、Ca等离子的检测讯号会受到Ar的影响，可以通过去除水中的溶解气体来解决。

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