Hitachi日立 S-5500超高分辨率扫描电子显微镜
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S-5500超高分辨率扫描电子显微镜
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| 产品介绍： |
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S-5500超高分辨率扫描电子显微镜
S-5500的独特设计可以保证0.4nm的超高分辨率，从而获得新的信息并展现纳米世界的秘密。
1. 新型的物镜设计可以使其达到世界最高分辨率：0.4nm
(30kV)。同时新的控制系统使得超高分辨的显微分析变得
简单易行。
2. 保证分辨率为0.4nm (30kV), 1.6nm (1kV)
3. Hitachi的专利技术ExB可以让操作者优化图像中SE和BSE信号的比例
4. 新开发的BF/DF双STEM检测器可以同时显示BF像及DF像。在DF STEM模式中还可以改变检测角度。(可选)
5. 电子光学系统的改进可以不用改变样品位置而同时进行EDS分析及形貌观察。
6. 可以使用与FIB兼容的样品杆。
技术指标：
| 二次电子分辨率 |
0.4nm (30kV) ；1.6nm (1kV) |
| 加速电压 |
0.5~30kV |
| 放大倍率 |
60X ~ 10,000X (低倍模式) ；800~2,000,000X(高倍模式) |
| 电子枪 |
冷场发射电子源 |
| 透镜系统 |
3级电磁透镜系统 |
| 物镜光栏 |
可变型 (4孔，在真空系统外进行微调，100-50-50-30µm) |
| 消像散线圈 |
八极电磁线圈系统 |
| 扫描线圈 |
2级电磁偏转线圈(高倍模式) ；1级电磁线圈(低倍模式) |
| 样品台 |
侧插式测角台 |
| 样品台移动 |
X：±3.5mm, Y: ±2.0mm; Z: ±0.3mm, T: ±40° |
| 样品尺寸 |
最大5.0mmx9.5mmx3.5mmH (Bulk)
最大2.0mmx6.0mmx5.0mmH (Cross-section) |
| 电子图像移动 |
±5µ |
| 检测器 |
二次电子检测器
上部背散射电子检测器(可选)
YAG型背散射电子检测器(可选)
BF/DF 双STEM检测器(可选)
STEM检测器(可选)
X射线能谱仪 (可选) |
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