Hitachi日立 S-4800冷场发射扫描电子显微镜
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S-4800冷场发射扫描电子显微镜
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| 产品介绍： |
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S-4800高分辨冷场发射扫描电子显微镜
日立S4800扫描电子显微镜采用大样品室的半内透镜设计，却能达到超高分辨率，可以与内透镜UHR扫描电镜相媲美。
特点：
1. 新型物镜采用专利的ExB设计。使用单检测器和超级ExB可以分别收集和分离单纯
二次电子、混合二次电子及背散射电子的信号。
2. 1KV低加速电压时保证有2.0nm的分辨率。
3. 两种样品台可选：I型50mm x 50mm小样品台或Ⅱ型110mm x 110mm大样品台。
4. 包括涡轮分子泵在内的先进的真空系统。
5. 便于用户使用的、基于图形用户界面的控制系统，包含多种自动功能，操作简易
性能指标：
| 二次电子分辨率 |
1.0nm (15kV)
2.0nm (1 kV)
1.4nm (1 kV，减速模式) |
| 电子枪 |
冷场发射电子源 |
| 加速电压 |
0.5~30kV(0.1KV/步，可变) |
| 放大倍率 |
x 20~ x 800,000 |
| 物镜光阑 |
4孔，真空外选择和调校(内置加热器) |
| 检测器 |
二次电子检测器 (高位/低位)
背散射电子检测器(可选)
EDX(可选)
透射电子检测器(可选)
法拉第杯(可选) |
| 样品台 |
l型:
X: 0~50mm Y: 0~50mm
Z:1.5~30mm T: -5°~70°R:360° 驱动:手动(可选3轴/5轴马达驱动)
ll型:
X: 0 ~110 mm Y: 0 ~110mm
Z: 1.5 ~40 mm T: -5°~ 70°
R: 360°驱动: 5轴马达驱动 |
| 操作/显示 |
操作系统： WindowsTM XP |
| 图像储存 |
640 x 480, 1,280 x 960,
2,560 x 1,920,5,120 x 3,840 |
图像编辑
图像文件格式 |
内置图像处理软件和图像编辑软件
BMP, TIFF, JPEG |
| 扫描速度 |
TV/慢速 (0.5 ~ 40 s/帧) 用于观察
慢速 (40 ~ 320 s/帧) 用于记录 |
| 自动数据记录 |
胶卷号，加速电压，微米标尺，放大
倍率，日期，时间，工作距离 |
| 电子图像移动 |
±12µm ( W.D. = 8 mm) |
| 真空系统 |
自动调节
离子泵 3 台
涡轮分子泵(磁浮型) 1 台
机械泵 1 台 |
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